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固定砥粒方式によるアルミニウム,ガラス等サブストレート材の精密ラツピング加工

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固定砥粒方式によるアルミニウム,ガラス等サブストレート材の精密ラツピング加工

国立国会図書館請求記号
Y151-S63550107
国立国会図書館書誌ID
000007034992
資料種別
図書
著者
柴田, 順二, 芝浦工業大学
出版者
-
出版年
1988-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コテイトリュウ ホウシキ ニ ヨル アルミニウム,ガラス トウ サブストレートザイ ノ セイミツ ラツピング カコウ
著者・編者
柴田, 順二, 芝浦工業大学
著者標目
柴田, 順二 シバタ, ジユンジ
出版年月日等
1988-1990
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
研磨 ケンマ
平坦度 ヘイタンド
仕上面粗さ シアゲメンアラサ
砥石の弾性 トイシノダンセイ
PVA砥石 PVAトイシ
アルミニウムサブストレート アルミニウムサブストレート
砥石の摩耗 トイシノマモウ
塑性指数 ソセイシスウ