超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究
• タイトルよみ: チョウナン Xセンレイキコウデンシ ブンコウホウ ノ コウセイノウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 服部, 健雄, 武蔵工業大学
• 著者標目: 服部, 健雄 ハットリ, タケオ
• 出版年月日等: 1988-1990
• 出版年（W3CDTF）: 1988
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 奨励研究(B)
• 件名標目: 光電子分光法 コウデンシブンコウホウ; XPS XPS; 軟X線励起光電子分光法 ナンXセンレイキコウデンシブンコウホウ; ZrMζ線 ZRMゼータセン; 回転ターゲツト カイテンターゲツト; シリコン酸化膜@シリコン界面 シリコンサンカマク@シリコンカイメン; 自然酸化膜 シゼンサンカマク; 熱酸化膜 ネツサンカマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 63850009
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S63850009
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007036318; http://id.ndl.go.jp/bib/000007036318
• 整理区分コード: 214