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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- タイナイ ウメコミ アツリョク ケイソク システム ノ カイハツ
- 著者・編者
- 江刺, 正喜, 東北大学
- 著者標目
- 著者 : 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )典拠
- 出版年月日等
- 1988-1989
- 出版年(W3CDTF)
- 1988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)
- 件名標目
- 圧力センサ アツリヨクセンサ生体計測 セイタイケイソクマイクロマシーニング マイクロマシーニング半導体センサ ハンドウタイセンサ集積化センサ シユウセキカセンサ