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半導体プラズマプロセスのための新しい直流放電型プラズマ源・イオン源の開発

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半導体プラズマプロセスのための新しい直流放電型プラズマ源・イオン源の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S57550184
国立国会図書館書誌ID
000007037999
資料種別
図書
著者
長坂, 秀雄, 茨城大学
出版者
-
出版年
1982-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ プラズマプロセス ノ タメ ノ アタラシイ チョクリュウ ホウデンガタ プラズマ ゲン ・ イオン ゲン ノ カイハツ
著者・編者
長坂, 秀雄, 茨城大学
著者標目
長坂, 秀雄 ナガサカ, ヒデオ
出版年月日等
1982-
出版年(W3CDTF)
1982
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
NDLC