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超高密度垂直磁気記録用三層媒体の連続高速スパッタ装置の開発

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超高密度垂直磁気記録用三層媒体の連続高速スパッタ装置の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S59850049
国立国会図書館書誌ID
000007044193
資料種別
図書
著者
直江正彦, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1984-1985
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウコウミツド スイチョク ジキ キロクヨウ サンソウ バイタイ ノ レンゾク コウソク スパッタ ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
直江正彦, 東京工業大学
著者標目
直江, 正彦 ナオエ, マサヒコ
出版年月日等
1984-1985
出版年(W3CDTF)
1984
1985
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究
本文の言語コード
jpn