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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- イオンビームスパツタホウ ニ ヨル ジキ ヘツドヨウ パーマロイ ハクマク ノ サクセイ
- 著者・編者
- 山中, 俊一, 東京工業大学
- 著者標目
- 山中, 俊一 ヤマナカ, シユンイチ
- 出版年月日等
- 1980-1981
- 出版年（W3CDTF）
- 1980
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- NDLC
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