2ステップ励起による光CVD低温プロセスの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 2ステップ励起による光CVD低温プロセスの研究
• タイトルよみ: 2 ステップ レイキ ニ ヨル ヒカリ CVD テイオン プロセス ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 御子柴宣夫, 東北大学 [著]
• 著者標目: 御子柴, 宣夫 ミコシバ, ノブオ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [御子柴宣夫]
• 出版年月日等: 1983-1985; 1986.3
• 出版年（W3CDTF）: 1983; 1985
• 数量: 86p
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 58420027
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S58420027
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007048918; http://id.ndl.go.jp/bib/000007048918
• 整理区分コード: 214