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AlN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリツドICの開発

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AlN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリツドICの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S58850055
国立国会図書館書誌ID
000007050784
資料種別
図書
著者
御子柴, 宣夫, 東北大学
出版者
-
出版年
1983-1985
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
AlN マク オ モチイタ レイ オンド ケイスウ オ モツ ツウシンヨウ ダンセイ ヒョウメンハ/ハンドウタイ ハイブリツド IC ノ カイハツ
著者・編者
御子柴, 宣夫, 東北大学
著者標目
御子柴, 宣夫 ミコシバ, ノブオ
出版年月日等
1983-1985
出版年(W3CDTF)
1983
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究
NDLC