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超清浄雰囲気スパツタ法によるスピンバルブ型GMR薄膜の界面構造制御とヘツド試作

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超清浄雰囲気スパツタ法によるスピンバルブ型GMR薄膜の界面構造制御とヘツド試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H09355010
国立国会図書館書誌ID
000007055634
資料種別
図書
著者
高橋, 研, 東北大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウセイジョウ フンイキ スパツタホウ ニ ヨル スピンバルブガタ GMR ハクマク ノ カイメン コウゾウ セイギョ ト ヘツド シサク
著者・編者
高橋, 研, 東北大学
著者標目
高橋, 研 タカハシ, ミガク
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
磁性薄膜 ジセイハクマク
極高真空 キヨクコウシンクウ
スパツタリング スパツタリング
極薄膜 キヨクハクマク