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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ECR プラズマ CVD ニ ヨル キンゾク サクタイ カラ ノ ヒカリ ・ デンキ キノウセイ フツカブツ ヒショウシツ ハクマク ノ カイハツ
- 著者・編者
- 河本, 洋二, 神戸大学
- 著者標目
- 河本, 洋二 カワモト, ヨウジ
- 出版年月日等
- 1997-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
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