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機能性薄膜の信頼性向上に関する破壊力学的研究

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機能性薄膜の信頼性向上に関する破壊力学的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650794
国立国会図書館書誌ID
000007057333
資料種別
図書
著者
瀬尾, 健二, 姫路工業大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キノウセイ ハクマク ノ シンライ セイコウ ジョウ ニ カンスル ハカイ リキガクテキ ケンキュウ
著者・編者
瀬尾, 健二, 姫路工業大学
著者標目
瀬尾, 健二 セオ, ケンジ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
破壊力学 ハカイリキガク
機能性薄膜 キノウセイハクマク
エネルギー解放率 エネルギーカイホウリツ
はく離強度 ハクリキヨウド
接着強度 セツチヤクキヨウド
ピール試験 ピールシケン
補強膜 ホキヨウマク
メツキ膜 メツキマク