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残留抵抗比による高純度金属およびその薄膜の精確な純度評価法の確立

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残留抵抗比による高純度金属およびその薄膜の精確な純度評価法の確立

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650803
国立国会図書館書誌ID
000007057334
資料種別
図書
著者
三村, 耕司, 東北大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ザンリュウ テイコウヒ ニ ヨル コウジュンド キンゾク オヨビ ソノ ハクマク ノ セイカク ナ ジュンド ヒョウカホウ ノ カクリツ
著者・編者
三村, 耕司, 東北大学
著者標目
三村, 耕司 ミムラ, コウジ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
高純度金属 コウジユンドキンゾク
残留抵抗比 ザンリユウテイコウヒ
純度評価 ジユンドヒヨウカ
比抵抗 ヒテイコウ
微量不純物 ビリヨウフジユンブツ
水素焼鈍 スイソヤキナマシ
テツ