電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究
• タイトルよみ: デンキテキ カイセキ シュホウ ト コウゾウテキ カイセキ シュホウ ノ ユウゴウ ニ ヨル シリコン サンカマク ノ ハカイ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 舛岡, 富士雄, 東北大学
• 著者標目: 舛岡, 富士雄 マスオカ, フジオ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: シリコン酸化膜 シリコンサンカマク; フラツシユメモリ フラツシユメモリ; 構造解析 コウゾウカイセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10305023
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10305023
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007058571; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058571
• 整理区分コード: 214