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薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究

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薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10355003
国立国会図書館書誌ID
000007058603
資料種別
図書
著者
生天目, 博文, 広島大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハクマク セイチョウ モニターヨウ ハッコウ ブンコウ ソウチ ノ ジツヨウカ ケンキュウ
著者・編者
生天目, 博文, 広島大学
著者標目
生天目, 博文 ナマタメ, ヒロフミ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
共鳴発光分光 キヨウメイハツコウブンコウ
共鳴逆光電子分光 キヨウメイギヤクコウデンシブンコウ
不等間隔回折格子 フトウカンカクカイセツコウシ
薄膜 ハクマク
CCD素子 CCDソシ
内殻準位 ナイカクジユンイ
電子状態 デンシジヨウタイ