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Alの陽極酸化皮膜をレジストとする磁気繊毛の微細加工と繊毛運動マイクロ搬送機構

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Alの陽極酸化皮膜をレジストとする磁気繊毛の微細加工と繊毛運動マイクロ搬送機構

国立国会図書館請求記号
Y151-H10450126
国立国会図書館書誌ID
000007058794
資料種別
図書
著者
山崎, 二郎, 九州工業大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Al ノ ヨウキョク サンカ ヒマク オ レジスト ト スル ジキ センモウ ノ ビサイ カコウ ト センモウ ウンドウ マイクロ ハンソウ キコウ
著者・編者
山崎, 二郎, 九州工業大学
著者標目
山崎, 二郎 ヤマザキ, ジロウ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
酸極酸化法 サンキヨクサンカホウ
磁気繊毛 ジキセンモウ
高アスペクト比 コウアスペクトヒ
微細加工 ビサイカコウ
マイクロマシン マイクロマシン