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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- イオンミキシング ジョウチャクホウ ニ ヨル チッカブツ タイショクセイ ハクマク ノ シンライ セイコウ ジョウ ニ カンスル デンキ カガクテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 内田, 仁, 姫路工業大学
- 著者標目
- 内田, 仁 ウチダ, ヒトシ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 窒化物薄膜 チツカブツハクマクイオンミキシング蒸着法 イオンミキシングジヨウチヤクホウピンホール欠陥 ピンホールケツカン分極曲線 ブンキヨクキヨクセン