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結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と側長・位置決めへの応用

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結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と側長・位置決めへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650109
国立国会図書館書誌ID
000007060322
資料種別
図書
著者
高田, 孝次, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ケッショウ ゴウシ ノ ゲンシ ハイレツ オ キジュン ト スル チョウセイミツチョクドウ キコウ ノ カイハツ ト ガワチョウ ・ イチギメ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
高田, 孝次, 長岡技術科学大学
著者標目
高田, 孝次 タカダ, コウジ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
走査型トンネル顕微鏡 ソウサガタトンネルケンビキヨウ
結晶格子 ケツシヨウコウシ
直動機構 チヨクドウキコウ
サブナノメートル サブナノメートル
トラツキング制御 トラツキングセイギヨ