Si中にイオン注入されたAs及びSbの酸化膜界面パイルアツプ現象の解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: Si中にイオン注入されたAs及びSbの酸化膜界面パイルアツプ現象の解明
• タイトルよみ: Si チュウ ニ イオン チュウニュウ サレタ As オヨビ Sb ノ サンカマク カイメン パイルアツプ ゲンショウ ノ カイメイ
• 著者・編者: 芝原, 健太郎, 広島大学
• 著者標目: 芝原, 健太郎 シバハラ, ケンタロウ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: シリコン シリコン; イオン注入 イオンチユウニユウ; ヒ素 ヒソ; アンチモン アンチモン; パイルアツプ パイルアツプ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650358
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650358
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007063665; http://id.ndl.go.jp/bib/000007063665
• 整理区分コード: 214