干渉分光データのウエーブレツト解析による半導体トレンチ形状測定

• 資料種別: 図書
• タイトル: 干渉分光データのウエーブレツト解析による半導体トレンチ形状測定
• タイトルよみ: カンショウ ブンコウ データ ノ ウエーブレツト カイセキ ニ ヨル ハンドウタイ トレンチ ケイジョウ ソクテイ
• 著者・編者: 白崎, 博公, 玉川大学
• 著者標目: 白崎, 博公 シラサキ, ヒロキミ
• 出版年月日等: 1997-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: トレンチ トレンチ; 干渉分光法 カンシヨウブンコウホウ; ウエーブレツト ウエーブレツト; 半導体 ハンドウタイ; 光測定 ヒカリソクテイ; 非破壊検査 ヒハカイケンサ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650055
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650055
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007064509; http://id.ndl.go.jp/bib/000007064509
• 整理区分コード: 214