シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン
• タイトルよみ: シリコン ヒキアゲタンケッショウ サンソ ノウド ブンプ(ハンケイ ホウコウ) ノ シミユレーシヨン
• 著者・編者: 菅原, 活郎, 日本大学
• 著者標目: 著者 ： 菅原, 活郎 スガワラ, カツロウ ( 00218270 )典拠
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ; シリコン融液内対流 シリコンユウエキナイタイリユウ; シリコン融液・石英るつぼ反応 シリコンユウエキ・セキエイルツボハンノウ; SiO蒸発 SIOジヨウハツ; 酸素偏析 サンソヘンセキ; 差分法 サブンホウ; 有限要素法 ユウゲンヨウソホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650019
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650019
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007065231; http://id.ndl.go.jp/bib/000007065231
• 整理区分コード: 214