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シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン

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シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650019
国立国会図書館書誌ID
000007065231
資料種別
図書
著者
菅原, 活郎, 日本大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコン ヒキアゲタンケッショウ サンソ ノウド ブンプ(ハンケイ ホウコウ) ノ シミユレーシヨン
著者・編者
菅原, 活郎, 日本大学
著者標目
著者 : 菅原, 活郎 スガワラ, カツロウ ( 00218270 )典拠
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ
シリコン融液内対流 シリコンユウエキナイタイリユウ
シリコン融液・石英るつぼ反応 シリコンユウエキ・セキエイルツボハンノウ
SiO蒸発 SIOジヨウハツ
酸素偏析 サンソヘンセキ
差分法 サブンホウ
有限要素法 ユウゲンヨウソホウ