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多層薄膜への超微小圧子押し込み/引き抜き過程におけるエネルギー散逸の物理的評価

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多層薄膜への超微小圧子押し込み/引き抜き過程におけるエネルギー散逸の物理的評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650029
国立国会図書館書誌ID
000007065233
資料種別
図書
著者
草野, 英二, 金沢工業大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タソウ ハクマク ヘ ノ チョウビショウアツコ オシコミ/ヒキヌキ カテイ ニ オケル エネルギー サンイツ ノ ブツリテキ ヒョウカ
著者・編者
草野, 英二, 金沢工業大学
著者標目
著者 : 草野, 英二 クサノ, エイジ ( 01037580 )典拠
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
薄膜 ハクマク
スパツタリング スパツタリング
ナノインデンテーシヨン ナノインデンテーシヨン
窒化チタニウム チツカチタニウム
Al AL
多層構造 タソウコウゾウ