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次世代極短波長光の光学素子評価のための点回折干渉系に関する研究

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次世代極短波長光の光学素子評価のための点回折干渉系に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650048
国立国会図書館書誌ID
000007067145
資料種別
図書
著者
格内, 敏, 姫路工業大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ジセダイ ゴクタンパチョウ ヒカリ ノ コウガク ソシ ヒョウカ ノ タメ ノ テン カイセツ カンショウケイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
格内, 敏, 姫路工業大学
著者標目
格内, 敏 カクナイ, サトシ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
点回折干渉系 テンカイセツカンシヨウケイ
球面波 キユウメンハ
超精密形状計測 チヨウセイミツケイジヨウケイソク
縞走査 シマソウサ
光フアイバー ヒカリフアイバー