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走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価

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走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650107
国立国会図書館書誌ID
000007067180
資料種別
図書
著者
田中, 武司, 立命館大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ナイ ヒッパリ シケン ソウチ ノ カイハツ ニ ヨル DLC/パーマロイ ハクマク ノ ブッセイ ヒョウカ
著者・編者
田中, 武司, 立命館大学
著者標目
著者 : 田中, 武司, 1940- タナカ, タケシ, 1940- ( 00727393 )典拠
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
薄膜 ハクマク
ヤング率 ヤングリツ
ポアソン化 ポアソンカ
AFM AFM
引張り試験 ヒツパリシケン
PZT PZT