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ナノ・メータ領域における原子追尾方式による軸の回転精度測定システムに関する研究

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ナノ・メータ領域における原子追尾方式による軸の回転精度測定システムに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650114
国立国会図書館書誌ID
000007067183
資料種別
図書
著者
奥山, 栄樹, 秋田大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノ ・ メータ リョウイキ ニ オケル ゲンシ ツイビ ホウシキ ニ ヨル ジク ノ カイテン セイド ソクテイ システム ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
奥山, 栄樹, 秋田大学
著者標目
奥山, 栄樹 オクヤマ, エイキ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
軸の回転精度 ジクノカイテンセイド
STM STM
ナノ・メータ ナノ・メータ