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圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発

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圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650118
国立国会図書館書誌ID
000007067187
資料種別
図書
著者
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アツデン ソシ クドウ ニ ヨル コウソク スキヤナ オ モチイタ チョウコウセイド クウカン ザヒョウ イチ ソクテイ システム ノ カイハツ
著者・編者
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
著者標目
著者 : 久曽神, 煌, 1944- キュウソジン, アキラ, 1944- ( 00734012 )典拠
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
レーザートラツキング レーザートラツキング
圧電素子 アツデンソシ
微小位置決め ビシヨウイチギメ
微動ステージ ビドウステージ
多自由度位置決め タジユウドイチギメ
空間座標測定 クウカンザヒヨウソクテイ
非接触測定 ヒセツシヨクソクテイ
三角測量 サンカクソクリヨウ