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サフアイヤ基板上に形成した炭化珪素薄膜を用いた高温・大電力用FETの作製

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サフアイヤ基板上に形成した炭化珪素薄膜を用いた高温・大電力用FETの作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650321
国立国会図書館書誌ID
000007067346
資料種別
図書
著者
上村, 喜一, 信州大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
サフアイヤ基板上に形成した炭化珪素薄膜を用いた高温・大電力用FETの作製
タイトルよみ
サフアイヤ キバン ジョウ ニ ケイセイ シタ タンカ ケイソ ハクマク オ モチイタ コウオン ・ ダイ デンリョクヨウ FET ノ サクセイ
著者・編者
上村, 喜一, 信州大学
著者標目
上村, 喜一 カミムラ, キイチ
出版年月日等
1999-2000
出版年（W3CDTF）
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
炭化珪素 タンカケイソ
FET FET
サフアイヤ基板 サフアイヤキバン
高温動作素子 コウオンドウサソシ