サフアイヤ基板上に形成した炭化珪素薄膜を用いた高温・大電力用FETの作製

• 資料種別: 図書
• タイトル: サフアイヤ基板上に形成した炭化珪素薄膜を用いた高温・大電力用FETの作製
• タイトルよみ: サフアイヤ キバン ジョウ ニ ケイセイ シタ タンカ ケイソ ハクマク オ モチイタ コウオン ・ ダイ デンリョクヨウ FET ノ サクセイ
• 著者・編者: 上村, 喜一, 信州大学
• 著者標目: 上村, 喜一 カミムラ, キイチ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 炭化珪素 タンカケイソ; FET FET; サフアイヤ基板 サフアイヤキバン; 高温動作素子 コウオンドウサソシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650321
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650321
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007067346; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067346
• 整理区分コード: 214