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化学修飾されたゲル膜の光感応機構とマイクロ素子形成プロセスへの応用

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化学修飾されたゲル膜の光感応機構とマイクロ素子形成プロセスへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650866
国立国会図書館書誌ID
000007067686
資料種別
図書
著者
峠, 登, 近畿大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カガク シュウショク サレタ ゲルマク ノ ヒカリ カンノウ キコウ ト マイクロ ソシ ケイセイ プロセス ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
峠, 登, 近畿大学
著者標目
峠, 登 トウゲ, ノボル
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ゾルーゲル法 ゾルーゲルホウ
薄膜 ハクマク
化学修飾 カガクシユウシヨク
光感応性 ヒカリカンノウセイ
微細パターニング ビサイパターニング
回折格子 カイセツコウシ
酸化ニオブ サンカニオブ
PZT強誘電体 PZTキヨウユウデンタイ