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Si/Ge歪み制御原子層超格子の研究

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Si/Ge歪み制御原子層超格子の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10305003
国立国会図書館書誌ID
000007070893
資料種別
図書
著者
松村, 正清, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Si/Ge ヒズミ セイギョ ゲンシソウ チョウコウシ ノ ケンキュウ
著者・編者
松村, 正清, 東京工業大学
著者標目
松村, 正清 マツムラ, マサキヨ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
原子層成長 ゲンシソウセイチヨウ
Si/Ge界面 SI/GEカイメン
超格子 チヨウコウシ
ヘテロ成長 ヘテロセイチヨウ
最表面組成 サイヒヨウメンソセイ