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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウジュンド 28Si エピタキシヤルソウ オ モチイタ シリコン ジコ カクサン ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 松本, 智, 慶應義塾大学
- 著者標目
- 著者 ： 松本, 智, 1947- マツモト, サトル, 1947- ( 00936348 )典拠
- 出版年月日等
- 1998-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)