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超硬質窒化炭素薄膜の合成とナノトライボロジー

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超硬質窒化炭素薄膜の合成とナノトライボロジー

国立国会図書館請求記号
Y151-H10355028
国立国会図書館書誌ID
000007071013
資料種別
図書
著者
高井, 治, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウコウシツ チッカ タンソ ハクマク ノ ゴウセイ ト ナノトライボロジー
著者・編者
高井, 治, 名古屋大学
著者標目
高井, 治 タカイ, オサム
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
窒化炭素 チツカタンソ
アークプラズマ アークプラズマ
アモルフアス アモルフアス
超硬質材料 チヨウコウシツザイリヨウ
シールド型アークイオンプレーテイング シールドガタアークイオンプレーテイング
ナノインデンテーシヨン ナノインデンテーシヨン
摺動特性 シユウドウトクセイ
化学結合状態 カガクケツゴウジヨウタイ