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Si基板上の表面再構成構造とInSb薄膜のヘテロエピタキシヤル成長

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Si基板上の表面再構成構造とInSb薄膜のヘテロエピタキシヤル成長

国立国会図書館請求記号
Y151-H10450005
国立国会図書館書誌ID
000007071389
資料種別
図書
著者
龍山, 智栄, 富山大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Si キバン ジョウ ノ ヒョウメン サイコウセイ コウゾウ ト InSb ハクマク ノ ヘテロエピタキシヤル セイチョウ
著者・編者
龍山, 智栄, 富山大学
著者標目
龍山, 智栄 タツヤマ, チエイ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコン基板 シリコンキバン
インジウム インジウム
アンチモン アンチモン
表面再構成構造 ヒヨウメンサイコウセイコウゾウ
交互吸着 コウゴキユウチヤク
インジウムアンチモン インジウムアンチモン
ヘテロエピタキシヤル成長 ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ
吸着率 キユウチヤクリツ