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炭化珪素基板上紫外線センサのレーザー・プロセスによる開発

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炭化珪素基板上紫外線センサのレーザー・プロセスによる開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11450121
国立国会図書館書誌ID
000007072726
資料種別
図書
著者
中嶋, 堅志郎, 名古屋工業大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タンカ ケイソ キバン ジョウ シガイセン センサ ノ レーザー ・ プロセス ニ ヨル カイハツ
著者・編者
中嶋, 堅志郎, 名古屋工業大学
著者標目
中嶋, 堅志郎 ナカシマ, ケンシロウ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
炭化珪素 タンカケイソ
エキシマレーザー エキシマレーザー
レーザー・ドーピング レーザー・ドーピング
レーザー・プロセス レーザー・プロセス
Alアルミニウム ALアルミニウム
W タングステン Wタングステン
オーミツク電極 オーミツクデンキヨク
Tiチタン TIチタン