エネルギのインプロセス計測によるエキシマレーザ加工の安定化

• 資料種別: 図書
• タイトル: エネルギのインプロセス計測によるエキシマレーザ加工の安定化
• タイトルよみ: エネルギ ノ インプロセス ケイソク ニ ヨル エキシマレーザ カコウ ノ アンテイカ
• 著者・編者: 古川, 勇二, 東京都立大学
• 著者標目: 古川, 勇二 フルカワ, ユウジ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: エキシマレーザ エキシマレーザ; アブレーシヨン アブレーシヨン; エネルギ分布 エネルギブンプ; フオトン フオトン; インプロセス計測 インプロセスケイソク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11555044
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11555044
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007073221; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073221
• 整理区分コード: 214