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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ダイヤモンド コウグ シアゲ ヨウ デンシ ビーム エンヨウ カガク カコウ ソウチ ノ シサク
- 著者・編者
- 宮本, 岩男, 東京理科大学
- 著者標目
- 宮本, 岩男 ミヤモト, イワオ
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- ダイヤモンド工具 ダイヤモンドコウグ電子ビーム援用化学加工装置 デンシビームエンヨウカガクカコウソウチダイヤモンド電子デバイス ダイヤモンドデンシデバイスダイヤモンド探針 ダイヤモンドタンシン3次元形状創生 3ジゲンケイジヨウソウセイ微細パターン ビサイパターン