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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- InAIGaN コンショウ ノ ソウ ブンリ ゲンショウ ノ カイメイ ト コウシ セイゴウケイ チッカブツ リョウシ コウゾウ ノ ジツゲン ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 若原, 昭浩, 豊橋技術科学大学
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 窒化物混晶半導体 チツカブツコンシヨウハンドウタイ組成不均一 ソセイフキンイツリモートプラズマ リモートプラズマ有機金属気相エピタキシー ユウキキンゾクキソウエピタキシー