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シリコン基板上ガリウム砒素中の転位の不活性化

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シリコン基板上ガリウム砒素中の転位の不活性化

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650013
国立国会図書館書誌ID
000007076652
資料種別
図書
著者
曽我, 哲夫, 名古屋工業大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
シリコン基板上ガリウム砒素中の転位の不活性化
タイトルよみ
シリコン キバン ジョウ ガリウムヒソ チュウ ノ テンイ ノ フカッセイカ
著者・編者
曽我, 哲夫, 名古屋工業大学
著者標目
曽我, 哲夫 ソガ, テツオ
出版年月日等
2000-2001
出版年（W3CDTF）
2000
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ガリウム砒素 ガリウムヒソ
転位 テンイ
不活性化 フカツセイカ
シリコン基板 シリコンキバン
水素プラズマ スイソプラズマ
フオスフイン フオスフイン
太陽電池 タイヨウデンチ