Si熱酸化過程のRHEED-AES-CL法による「その場」観察

• 資料種別: 図書
• タイトル: Si熱酸化過程のRHEED-AES-CL法による「その場」観察
• タイトルよみ: Si ネツ サンカ カテイ ノ RHEED-AES-CL ホウ ニ ヨル 「 ソノ バ 」 カンサツ
• 著者・編者: 高桑, 雄二, 東北大学
• 著者標目: 高桑, 雄二 タカクワ, ユウジ
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: シリコン シリコン; 酸化過程 サンカカテイ; RHEED RHEED; AES AES; カソードルミネツセンス カソードルミネツセンス; 「その場」観察 「ソノバ」カンサツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12650026
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12650026
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007076664; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076664
• 整理区分コード: 214