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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ウエハレベルスイツチングコンタクタ ノ タメ ノ MEMS アクテイブプローブ
- 著者・編者
- 伊藤, 寿浩, 東京大学
- 著者標目
- 伊藤, 寿浩 イトウ, トシヒロ
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- MEMSプローブカード MEMSプローブカードフリツテイングコンタクト フリツテイングコンタクトウエハレベルコンタクタ ウエハレベルコンタクタスイツチングコンタクト スイツチングコンタクトマイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータ原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
- NDLC
- 一般注記
- 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
- 科研費課題番号
- 12650049
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Y151-H12650049
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- 書誌ID（NDLBibID）
- 000007076681
- 整理区分コード
- 214