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位相検出型波長走査干渉法による非球面形状測定の広面積化

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位相検出型波長走査干渉法による非球面形状測定の広面積化

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650259
国立国会図書館書誌ID
000007076828
資料種別
図書
著者
加藤, 純一, 理化学研究所
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
イソウ ケンシュツガタ ハチョウ ソウサ カンショウホウ ニ ヨル ヒキュウメン ケイジョウ ソクテイ ノ コウメンセキカ
著者・編者
加藤, 純一, 理化学研究所
著者標目
加藤, 純一 カトウ, ジュンイチ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
形状測定 ケイジヨウソクテイ
干渉法 カンシヨウホウ
波長走査干渉法 ハチヨウソウサカンシヨウホウ
位相測定 イソウソクテイ
開口合成干渉法 カイコウゴウセイカンシヨウホウ
自由曲面 ジユウキヨクメン