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酸化物透明導電性薄膜への層状構造および結晶核生成不純物導入の効果に関する研究

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酸化物透明導電性薄膜への層状構造および結晶核生成不純物導入の効果に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650317
国立国会図書館書誌ID
000007076862
資料種別
図書
著者
富永, 喜久雄, 徳島大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
サンカブツ トウメイ ドウデンセイ ハクマク ヘ ノ ソウジョウ コウゾウ オヨビ ケッショウカク セイセイ フジュンブツ ドウニュウ ノ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
富永, 喜久雄, 徳島大学
著者標目
富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ZnO ZNO
透明導電膜 トウメイドウデンマク
スパツタリング スパツタリング
不純物添加効果 フジユンブツテンカコウカ