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新しい窒・酸化物薄膜による金属の表面改質とその分光学的評価に関する研究

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新しい窒・酸化物薄膜による金属の表面改質とその分光学的評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555252
国立国会図書館書誌ID
000007077337
資料種別
図書
著者
野瀬, 正照, 高岡短期大学
出版者
-
出版年
1998-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アタラシイ チツ ・ サンカブツ ハクマク ニ ヨル キンゾク ノ ヒョウメン カイシツ ト ソノ ブンコウガクテキ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
野瀬, 正照, 高岡短期大学
著者標目
野瀬, 正照 ノセ, マサテル
出版年月日等
1998-2001
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
反応スパツタ ハンノウスパツタ
ZrN ZRN
Ti-O-N TI-O-N
Zr-Si-N ZR-SI-N
色彩 シキサイ
硬度 コウド
耐酸化性 タイサンカセイ