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新しい多成分膜堆積用MOCVD装置の開発と機能性膜の作製

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新しい多成分膜堆積用MOCVD装置の開発と機能性膜の作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650827
国立国会図書館書誌ID
000007078068
資料種別
図書
著者
伊藤, 滋, 東京理科大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アタラシイ タセイブンマク タイセキヨウ MOCVD ソウチ ノ カイハツ ト キノウセイマク ノ サクセイ
著者・編者
伊藤, 滋, 東京理科大学
著者標目
伊藤, 滋 イトウ, シゲル
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
MOCVD MOCVD
(Ni, Zn) Fe2O4 (NI, ZN) FE2O4
磁気特性 ジキトクセイ
組成制御 ソセイセイギヨ
微量添加 ビリヨウテンカ