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光感応性ゲル膜の高感度・高解像度化と微細パターン形成

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光感応性ゲル膜の高感度・高解像度化と微細パターン形成

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650830
国立国会図書館書誌ID
000007078070
資料種別
図書
著者
野間, 直樹, 近畿大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ カンノウセイ ゲルマク ノ コウカンド ・ コウカイゾウドカ ト ビサイ パターン ケイセイ
著者・編者
野間, 直樹, 近畿大学
著者標目
野間, 直樹 ノマ, ナオキ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
β-ジケトン ベータージケトン
金属アルコキシド キンゾクアルコキシド
化学修飾 カガクシユウシヨク
光感応性ゲル膜 ヒカリカンノウセイゲルマク
パターニング パターニング
アルキル基 アルキルキ
高感度 コウカンド
長波長化 チヨウハチヨウカ