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多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究
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多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H11304018
国立国会図書館書誌ID
000007080410
資料種別
図書
著者
庭野, 道夫, 東北大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究
タイトルよみ
タジュウ ナイブ ハンシャ セキガイ ブンコウ ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン スイソ ハンノウ ダイナミクス ノ ケンキュウ
著者・編者
庭野, 道夫, 東北大学
著者標目
庭野, 道夫
ニワノ, ミチオ
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
半導体
ハンドウタイ
赤外分光
セキガイブンコウ
多重内部反射
タジユウナイブハンシヤ
表面
ヒヨウメン
吸着・脱離
キユウチヤク・ダツリ
反応機構
ハンノウキコウ
酸化
サンカ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
11304018
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H11304018
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007080410
http://id.ndl.go.jp/bib/000007080410
整理区分コード
214
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