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157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発

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157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H12355025
国立国会図書館書誌ID
000007081672
資料種別
図書
著者
生嶋, 明, 豊田工業大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発
タイトルよみ
157nm ヒカリ リソグラフイーヨウ コウガク ガラス ザイリョウ ノ カイハツ
著者・編者
生嶋, 明, 豊田工業大学
著者標目
生嶋, 明 イクシマ, アキラ
出版年月日等
2000-2001
出版年（W3CDTF）
2000
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
シリカガラス シリカガラス
光リソグラフイー ヒカリリソグラフイー
構造緩和 コウゾウカンワ
ガラス転移 ガラステンイ
エキシマレーザー エキシマレーザー