157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発
• タイトルよみ: 157nm ヒカリ リソグラフイーヨウ コウガク ガラス ザイリョウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 生嶋, 明, 豊田工業大学
• 著者標目: 生嶋, 明 イクシマ, アキラ
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: シリカガラス シリカガラス; 光リソグラフイー ヒカリリソグラフイー; 構造緩和 コウゾウカンワ; ガラス転移 ガラステンイ; エキシマレーザー エキシマレーザー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12355025
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12355025
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007081672; http://id.ndl.go.jp/bib/000007081672
• 整理区分コード: 214