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超微小プラズマビームを用いた新しいマイクロ表面処理/加工テクノロジーの創製

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超微小プラズマビームを用いた新しいマイクロ表面処理/加工テクノロジーの創製

国立国会図書館請求記号
Y151-H12450288
国立国会図書館書誌ID
000007081877
資料種別
図書
著者
寺嶋, 和夫, 東京大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウビショウ プラズマビーム オ モチイタ アタラシイ マイクロ ヒョウメン ショリ/カコウ テクノロジー ノ ソウセイ
著者・編者
寺嶋, 和夫, 東京大学
著者標目
著者 : 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )典拠
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
マイクロプラズマ マイクロプラズマ
RFマイクロプラズマ RFマイクロプラズマ
ピエゾシステム ピエゾシステム
発光分光 ハツコウブンコウ
熱プラズマ ネツプラズマ
非平衡プラズマ ヒヘイコウプラズマ