移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究
• タイトルよみ: イドウ マスク Xセン カコウホウ オ モチイタ マイクロ 3 ジゲン コウゾウ カコウ システム カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 杉山, 進, 立命館大学
• 著者標目: 杉山, 進 スギヤマ, ススム
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: X線 Xセン; 微細加工 ビサイカコウ; 3次元 3ジゲン; 移動マスク イドウマスク; マイクロレンズ マイクロレンズ; LIGA LIGA
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12355008
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12355008
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007084178; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084178
• 整理区分コード: 214