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図書
超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
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超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
国立国会図書館請求記号
Y151-H12355011
国立国会図書館書誌ID
000007084181
資料種別
図書
著者
樋口, 俊郎, 東京大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
タイトルよみ
チョウクリ-ン ・ シンクウ カンキョウヨウ コウシュツリョク セイデンフジョウ リニアモ-タ
著者・編者
樋口, 俊郎, 東京大学
著者標目
樋口, 俊郎
ヒグチ, トシロウ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
静電モ-タ
セイデンモ-タ
リニアモ-タ
リニアモ-タ
非接触浮上
ヒセツシヨクフジヨウ
静電浮上
セイデンフジヨウ
真空
シンクウ
クリ-ンル-ム
クリ-ンル-ム
アクチユエ-タ
アクチユエ-タ
シリコンウエハ
シリコンウエハ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
12355011
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H12355011
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007084181
http://id.ndl.go.jp/bib/000007084181
整理区分コード
214
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