超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
• タイトルよみ: チョウクリ-ン ・ シンクウ カンキョウヨウ コウシュツリョク セイデンフジョウ リニアモ-タ
• 著者・編者: 樋口, 俊郎, 東京大学
• 著者標目: 樋口, 俊郎 ヒグチ, トシロウ
• 出版年月日等: 2000-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 静電モ-タ セイデンモ-タ; リニアモ-タ リニアモ-タ; 非接触浮上 ヒセツシヨクフジヨウ; 静電浮上 セイデンフジヨウ; 真空 シンクウ; クリ-ンル-ム クリ-ンル-ム; アクチユエ-タ アクチユエ-タ; シリコンウエハ シリコンウエハ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12355011
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12355011
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007084181; http://id.ndl.go.jp/bib/000007084181
• 整理区分コード: 214