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細線状活性層による低電流・高効率分布反射型レ-ザの研究

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細線状活性層による低電流・高効率分布反射型レ-ザの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12555098
国立国会図書館書誌ID
000007085179
資料種別
図書
著者
荒井, 滋久, 東京工業大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
サイセンジョウ カッセイソウ ニ ヨル テイデンリュウ ・ コウコウリツ ブンプ ハンシャガタ レ-ザ ノ ケンキュウ
著者・編者
荒井, 滋久, 東京工業大学
著者標目
荒井, 滋久 アライ, シゲヒサ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
半導体レ-ザ ハンドウタイレ-ザ
単一波長レ-ザ タンイツハチヨウレ-ザ
分布反射型レ-ザ ブンプハンシヤガタレ-ザ
分布帰還レ-ザ ブンプキカンレ-ザ
GalnAsP混晶 GALNASPコンシヨウ
電子線リソグラフイ- デンシセンリソグラフイ-
極微構造形成法 キヨクビコウゾウケイセイホウ
ドライエツチング ドライエツチング