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Si基板上に形成したTi-Ni系形状記憶合金薄膜の界面特性評価に関する研究

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Si基板上に形成したTi-Ni系形状記憶合金薄膜の界面特性評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650703
国立国会図書館書誌ID
000007086303
資料種別
図書
著者
矢島, 善次郎, 金沢工業大学
出版者
-
出版年
2000-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Si キバン ジョウ ニ ケイセイ シタ Ti-Ni ケイ ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ カイメン トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
矢島, 善次郎, 金沢工業大学
著者標目
矢島, 善次郎 ヤジマ, ゼンジロウ
出版年月日等
2000-2002
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
形状記憶合金 ケイジヨウキオクゴウキン
マルテンサイト変態 マルテンサイトヘンタイ
マルテンサイト変態誘起応力 マルテンサイトヘンタイユウキオウリヨク
透過電子顕微鏡 トウカデンシケンビキヨウ
マイクロアクチユエ-タ- マイクロアクチユエ-タ-
MEMS MEMS